Obszar działalności naukowej:
Obszar zainteresowań naukowych zespołu obejmuje: opracowanie technologii wytwarzania wybranych przyrządów półprzewodnikowych i struktur mikroelektronicznych na bazie krzemu i węglika krzemu, zastosowanie technik laserowych do strukturyzacji materiałów półprzewodnikowych, diagnostykę i analizę właściwości funkcjonalnych materiałów i struktur mikroelektronicznych oraz badania w obszarze zintegrowanych struktur typu Lab-on-Chip.
Aktualnie realizowane tematy badawcze:
- zastosowanie technik laserowych w procesach wytwarzania kontaktów elektrycznych do przyrządów mocy na bazie SiC,
- technologie wytwarzania półprzewodnikowych przyrządów mocy na bazie krzemu i węglika krzemu
- projektowanie i analiza zintegrowanych struktur typu Lab-On-Chip
- zaawansowana charakteryzacja parametrów elektrycznych (charakterystyki I-V, napięcia Halla), morfologii powierzchni (mikroskopia optyczna i elektronowa, profilometria powierzchniowa) oraz badania strukturalne (EDS - spektroskopia dyspersji energii, elipsometria).
Zaplecze badawcze:
Zespół prowadzi działalność naukową związaną z projektowaniem, wytwarzaniem i charakteryzacją nowoczesnych struktur i przyrządów półprzewodnikowych. Jego członkowie dysponują zapleczem aparaturowym ulokowanym w pomieszczeniu typu cleanroom (200 m2), w którym w warunkach podwyższonej czystości realizowane są najważniejsze procesy technologii krzemowej i materiałów szerokopasmowych: procesy termiczne, osadzanie cienkich warstw, fotolitografia submikronowa, trawienie mokre i suche, packaging. Dysponuje on także stanowiskami do obróbki laserowej materiałów (laser IR oraz UV) oraz aparaturą do charakteryzacji parametrów elektrycznych, badań strukturalnych i morfologii powierzchni.
Zaplecze dydaktyczne:
- Laboratorium Technologii Laserowych,
- Zaawansowane Laboratorium Mikroelektroniki - cleanroom,
- Podstawowe Laboratorium Mikroelektroniki.
Zespół:
dr inż. Andrzej Kubiak – lider grupy badawczej
dr inż. Janusz Woźny
Allesandro Verdolotti
dr hab. inż. Ewa Raj
dr inż. Natallia Bokla
dr inż. Tamara Klymkovych